售价超10亿 ASML新款EUV光刻机年底销货 2nm离不了

在今年的量产中，台积电将实现大规模的制造 3nm技术，三星也是，两家还要在2025年左右量产2nm工艺，对EUV光刻工艺的需求更高，而ASML今年底也会出货新款EUV光刻机NXE:3800E，2nm工艺就靠它了。

ASML是唯一能量产EUV光刻机的公司，而且迭代了多次，主要是提升能效及产能，目前最新的型号是NXE:3600D，NXE:3800E计划是年底出货，进一步降低EUV光刻机的成本。

至于售价，NXE:3800E的价格还没有权威说法，但是此前EUV光刻机就卖到1.5亿美元以上，这两年还有通胀等因素，所以价格大多数10亿起步是少不了的。

NXE:3800E光刻机今年底出货的话，考虑到安装、调试及生产的周期，未来台积电、三星会主要在2nm节点使用，而高NA孔径的下一代光刻机要解决的是1nm及之后的工艺。这意味着，中芯国际的n+1工艺可能会成为台积电、三星的竞争对手，甚至有可能超越它们。

（编辑：银川站长网）

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